FL2200D

實現潔凈室內多層第6代超大型液晶玻璃基板箱體內的高速搬運！

大型液晶玻璃基板搬運機器人

負載：50KG

動態范圍：1675mm

控制柜：DX100

用途：搬運、潔凈室

特點：

適用于第6代（1500*1850mm）超大型液晶玻璃基板的高速搬運。

*大化利用長距離上下屈伸、低pass line以及雙手臂的特性，實現潔凈室內多層液晶玻璃基板箱體內的高速搬運。

*1：依據JIS B8432標準

*2：潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下，來確保工件搬運面以上潔凈度。

*3：根據用途、作業形式會有所不同。