SEMISTAR-MR124半導(dǎo)體晶片搬運(yùn)用機(jī)器人動態(tài)范圍1215mm 適用300mm-450m

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店鋪基本資料信息

產(chǎn)品詳細(xì)說明

SEMISTAR-MR124搬運(yùn)機(jī)器人

適用于晶元搬運(yùn)SEMISTAR-M系列升級版，引領(lǐng)業(yè)界的高性能！供應(yīng)EFEM模塊全套設(shè)備。300枚/小時的高速搬運(yùn)。

半導(dǎo)體晶片搬運(yùn)用機(jī)器人

負(fù)載：-

動態(tài)范圍：1215mm

控制柜：SR100

用途：搬運(yùn)、半導(dǎo)體

特點(diǎn)

大動作范圍：EFEM模塊移動距離可達(dá)4套應(yīng)用設(shè)備，無需使用底架，極大地提高了搬運(yùn)效率。

高速搬運(yùn)：300枚/小時

適用：300mm-450mm晶片搬運(yùn)

*1：本公司標(biāo)準(zhǔn)終端效應(yīng)器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)

*2：300mm晶體(SEMI規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)品),當(dāng)使用本公司標(biāo)準(zhǔn)300mm對應(yīng)終端校準(zhǔn)器時

*3：機(jī)械臂回旋中心位置～晶體中心位置(本公司標(biāo)準(zhǔn)300mm對應(yīng)終端效應(yīng)器時)

*4：根據(jù)SEMI規(guī)格為基準(zhǔn)的晶體規(guī)格。特殊石英晶體請與我司聯(lián)系。石英晶體也可對應(yīng)（有業(yè)績）。但是根據(jù)石英規(guī)格，本公司需要進(jìn)行評價和調(diào)整。

*5：在0.3m/s的流量下，機(jī)械臂進(jìn)行真空吸附

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